三星一方面积极向的EUV雕刻机制造商ASML订购，另一方面也增资为EUV产业链输血。

　　据报道，三星电子星期二投资430亿韩元(约2.5亿)购买了152万股韩国FST公司的股票，成为第三大股东，持股率为6.9%。

　　FST是生产口罩/口罩保护膜和冷却器的制造商，保护膜简单地保证口罩不受灰尘影响，冷却器控制半导体制造过程中的温度。

　　FST正在开发EUV光罩保护膜，设计目标是全尺寸、碳化硅基质、30nm尺寸、透光率90%。

　　目前，一家公司大规模批量生产EUV光罩保护膜FST成功后，对产业和自身收入有积极影响。