10 月 12 日消息 10 月 12 日,三星对外宣布已开始量产基于极紫外(EUV)光技术的 14 纳米 DRAM。
继去年 3 月出货 EUV DRAM 后,现阶段将 EUV 的层数增加至五层,将会为 DDR5 提供更优质的解决方案。
三星电子副总裁兼 DRAM 产品与技术负责人 Jooyoung Lee 表示:“通过开拓关键的图案化创新技术,我们在近三年的时间里一直引领着 DRAM 市场。如今,三星正在通过多层 EUV 建立起另一个技术的里程碑,该技术实现了 14 纳米的化 —— 这是传统氟化氩 (ArF) 工艺无法实现的壮举。在此基础上,我们将继续为 5G、AI 和虚拟世界中需要更高性能和更大容量的数据驱动计算,提供差异化的内存解决方案。”
三星通过在 14 纳米 DRAM 中添加五个 EUV 层,实现了超高的比特密度,同时将整体晶圆的生产率提高了约 20%。此外与上一代 DRAM 相比,14 纳米工艺有助于降低近 20% 的功耗。
根据 DDR5 的标准,三星的 14 纳米 DRAM 可带来 7.2Gbps 的超高速,是前代 DDR4 的 3.2Gbps 速度的两倍多。
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